潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)耗能高的幾大因素

　　潔凈度的提高和維持是半導(dǎo)體器件潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和運(yùn)行的重要任務(wù)，這一任務(wù)的完成要依賴很高的送風(fēng)量，是以高能耗為代價(jià)的。就送風(fēng)量而言一般辦公大樓換氣次數(shù)為10次/h左右，而大規(guī)模半導(dǎo)件器件潔凈廠房?jī)?nèi)，為了滿足相應(yīng)的潔凈度要求，需要保證很高的換氣次數(shù)，致使循環(huán)風(fēng)量非常大。100級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)可選到200次/h，1000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)日選到40次/h，10000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)也要30次/h。導(dǎo)致潔凈廠房裝修空調(diào)系統(tǒng)耗能高的原因主要取決與幾大因素：

　　新風(fēng)負(fù)荷大，在電子廠房中，某些車(chē)間散發(fā)出有害氣體，需要通過(guò)排風(fēng)加以消除，這就加大了系統(tǒng)的新風(fēng)量。潔凈室的各類制冷負(fù)荷中，最重要的有新風(fēng)、風(fēng)機(jī)溫升和設(shè)備散熱3項(xiàng)，而尤以新風(fēng)最大。根據(jù)有關(guān)部門(mén)統(tǒng)計(jì)，新風(fēng)負(fù)荷可以從20%~70%，風(fēng)機(jī)溫升從8%~20%多，工藝設(shè)備可以從16%~50%。潔凈室內(nèi)平均所需新風(fēng)量在45~60m㎡/(m.n㎡)，新風(fēng)冷負(fù)荷比室內(nèi)顯熱冷負(fù)荷還要大約近1倍。

　　風(fēng)機(jī)全壓高，由于凈化空調(diào)中過(guò)濾器很多，其中僅高效過(guò)濾器的初阻力就在200Pa以上，終阻力在400Pa以上：而要求高的車(chē)間ULPA的阻力會(huì)更大。其新風(fēng)要求三級(jí)過(guò)濾，再加上化學(xué)過(guò)濾器，新風(fēng)機(jī)組的風(fēng)壓要求在2500Pa左右。這些都會(huì)致使所用風(fēng)機(jī)靜壓很高，導(dǎo)致風(fēng)機(jī)耗能增加。